設備簡(jiǎn)述/Equipment Brief
安裝尺寸 |
W4200×L8000×H4600mm |
腔體尺寸 |
W1300×L1300×H1500mm |
裝載 |
10 軸自轉Ф150×H890mm |
多弧源 |
6×Ф100 弧源, 1號腔體 |
濺射 |
8×Ф70圓柱陰極 |
真空范圍 |
ATM-6X10-4 Pa |
離子清洗 |
偏壓清潔,腔體1
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真空隔離 |
插板閥 ,W720×H1100 |
鍍膜節拍 |
30-60分/批次 |
電源 |
380V 50Hz |
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