設備用途:大面積電子槍蒸發(fā)光電膜、光學(xué)膜和防指紋膜。
愛(ài)科斯的IKS-OPT2700蒸發(fā)鍍膜機為實(shí)現大量快速生產(chǎn)大面積光學(xué)膜鍍膜和單層/多層表面改性膜而設計,本機為立式單腔體鍍膜機,是一種基于電子槍蒸發(fā)的多層光學(xué)薄膜鍍膜系統。本設備的主要產(chǎn)品蒸發(fā)沉積多層光學(xué)介質(zhì)膜和防指紋膜等,例如,可見(jiàn)光彩色膜、鋁反射膜、AF防指紋膜、低熔點(diǎn)有機物膜、可見(jiàn)光分光膜、可見(jiàn)光抗反射膜等,也可以為特定的簡(jiǎn)單光學(xué)特性膜系進(jìn)行調試生產(chǎn)。設備參數
爐體尺寸 |
Ф2700×H1670 |
工件架 |
φ2650*H420mm |
真空度 |
極限真空:6×10-4Pa(24小時(shí)空載,不加熱) |
重量 |
8000kg,地板承重﹥1000kg/m2 |
漏率 |
<4×10-3Pa×L/S(氦撿漏) |
溫度 |
室溫-250℃,溫度均勻性±5% |
工作真空 |
6*10-3Pa(自動(dòng)工藝啟動(dòng)) |
供電 |
三相電, 380V,50Hz,60-100KW |
低真空 |
10 分鐘<10Pa |
水冷 |
腔體流量大于4000l/h,泵組流量大于1800l/h 冷凍機流量大于1600l/h |
高真空 |
6 分鐘<8×10-3Pa |
溫水 |
蒸發(fā)源1800l/h,35-60℃ |
真空測量 |
全程監控,實(shí)時(shí)取點(diǎn) |
占地 |
L6×w5.5×H3.5m |
應用 |
眼鏡、反光鏡、手機背板、防護罩、光通訊、光學(xué)顯示等 |
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應用
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