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愛(ài)科斯科技
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始終關(guān)注客戶(hù)需求,為客戶(hù)
企業(yè)和員工的共同發(fā)展而努力
Serving the life of science and
technology civilization.

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產(chǎn)品中心
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IKS-OPT2700電子束蒸發(fā)光學(xué)鍍膜機


  設備用途:大面積電子槍蒸發(fā)光電膜、光學(xué)膜和防指紋膜。

  愛(ài)科斯的IKS-OPT2700蒸發(fā)鍍膜機為實(shí)現大量快速生產(chǎn)大面積光學(xué)膜鍍膜和單層/多層表面改性膜而設計,本機為立式單腔體鍍膜機,是一種基于電子槍蒸發(fā)的多層光學(xué)薄膜鍍膜系統。本設備的主要產(chǎn)品蒸發(fā)沉積多層光學(xué)介質(zhì)膜和防指紋膜等,例如,可見(jiàn)光彩色膜、鋁反射膜、AF防指紋膜、低熔點(diǎn)有機物膜、可見(jiàn)光分光膜、可見(jiàn)光抗反射膜等,也可以為特定的簡(jiǎn)單光學(xué)特性膜系進(jìn)行調試生產(chǎn)。

  設備特點(diǎn)

  1. 產(chǎn)品設計,由完美愛(ài)科斯技術(shù)與產(chǎn)品性能的無(wú)縫對接整合,創(chuàng )造可靠、穩 定、安全、智能化鍍膜系統!

  2. 真空獲得,重新優(yōu)化設計的真空獲得系統,滿(mǎn)足快捷平穩真空環(huán)境!

  3. 蒸發(fā)源和離子源,合理的布局和高品質(zhì)的加工技術(shù),調試技術(shù),實(shí)現工藝 進(jìn)程自動(dòng)調節,電子束創(chuàng )新結構與精確速率保障材料沉積更精確、穩定!

  4.自動(dòng)運行控制系統,全新開(kāi)發(fā)精確穩定系統!設置簡(jiǎn)單,操作簡(jiǎn)便!

  設備簡(jiǎn)述

  IKS-OPT2700是專(zhuān)為大面積光學(xué)薄膜鍍膜而設計的電子束蒸發(fā)鍍膜機。鍍膜機系統由真空室、真空泵、真空檢測與控制、襯底加熱系統、電子束蒸發(fā)系統、離子源輔助沉積系統、電阻蒸發(fā)系統、膜厚監測系統、工作氣體體積流量控制系統、工件旋轉系統、PLC控制的自動(dòng)鍍膜等組成。

  蒸發(fā)材料常用稀有金屬,如氟化釔、氟化鐠、鍺、硫化鋅、氟化鎂、二氧化鈦、二氧化硅、氧化鋯、鈷、鎵、硒等金屬。銅、鉬、硅、鍺等金屬是反射器光學(xué)材料中常用的材料。

  可涂裝可見(jiàn)光彩色膜、鋁反射膜、AF指紋膜、低熔點(diǎn)有機膜、可見(jiàn)光分光膜、可見(jiàn)光防反射膜等

  設備參數

爐體尺寸

Ф2700×H1670

工件架

φ2650*H420mm

真空度

極限真空:6×10-4Pa(24小時(shí)空載,不加熱)

重量

8000kg,地板承重1000kg/m2

漏率

4×10-3Pa×L/S(氦撿漏)

溫度

室溫-250℃,溫度均勻性±5%

工作真空

6*10-3Pa(自動(dòng)工藝啟動(dòng))

供電

三相電, 380V,50Hz,60-100KW

低真空

10 分鐘10Pa

水冷

腔體流量大于4000l/h,泵組流量大于1800l/h 冷凍機流量大于1600l/h

高真空

6 分鐘8×10-3Pa

溫水

蒸發(fā)源1800l/h,35-60

真空測量

全程監控,實(shí)時(shí)取點(diǎn)

占地

L6×w5.5×H3.5m

應用

眼鏡、反光鏡、手機背板、防護罩、光通訊、光學(xué)顯示等

 

  應用



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